用磁控溅射技术在DI材表面制备Al膜的可加工性研究

摘要

使用真空直流磁控溅射技术在DI材表面制备Al膜,并对镀铝DI材的可加工性与制备条件及铝膜的厚度之间的关系进行了研究.杯凸和冲杯试验表明铝膜沉积时的基板温度和膜厚对铝膜的附着力和可加工性有较大影响,当铝膜厚度大于2 μm时,铝膜的附着力变差.当基板温度从室温升至200℃时,铝膜的附着性和冲压性能有明显提升。