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叶志镇;
中国电子学会;
硅;
机译:MOCVD反应器中电阻丝加热器的分析与设计
机译:在没有衬底加热的情况下通过等离子CVD在Ge(100)上外延生长的高应变Si上热CVD B掺杂Si膜的电学特性
机译:通过空间分辨稳态光载流子辐射成像对硅片进行电子传输表征
机译:用于#beta#-Sic异型外延的新型辐射加热4英寸LPCVD系统
机译:以钴为催化剂的微波辅助在硅片上CVD生长碳纳米管的实验研究。
机译:超声辅助对流加热/冷却过程分析:营养方程的发展与应用
机译:CVD中闪光加热硅和锗的原子层逐层外延
机译:CVD siC外延层中n型和p型掺杂剂控制的场地竞争外延
机译:在辐射加热桶式CVD反应器中的硅衬底上进行硅外延沉积,包括将衬底加热至最高温度,而无需中间停留时间
机译:带有电阻丝的辐射加热器-在透明玻璃前面板后排有扁平腔,用于固定电阻丝
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