Al<,2>O<,3>、ZrO<,2>功能薄膜的性能及制备技术

摘要

该文综述了Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉、ＺｒＯ〈，２〉功能薄膜的国内外研究概况、性能用途及制备技术现状；展望了其今后的应用前景及需要解决的问题。