微型齿轮的LIGA技术微细电铸工艺研制

摘要

该文介绍一种利用复合的三维微细的三维微细的三维微细加工技术－－ＬＩＧＡ技术研制金属微型渐开线齿轮的方法，并介绍生成金属微细结构的关键工艺－－微细电铸工艺研究。