具本安特性的平面型载体催化甲烷传感器的研究

摘要

传统载体催化甲烷传感器，在甲烷浓度超过爆炸下限位后，其表面温度将接近点火温度，使自身可能成为引爆源，为解决这一潜在的不安全因素，该文通过催化性能的改善以降低起始工作温度；通过微电子学平面工艺以降低温升灵敏度，从而成功地制造出具有该安特性的平面型载体促化甲烷传感器。