高温金属氧化物陶瓷湿度传感器的研究

摘要

该文论述了采用湿法合成可在高温（１５０℃）下应用的改性羟基磷灰石（ＨＡＰ）感湿粉料工艺及有关性能，系统研究了应用上述改性ＨＡＰ感湿粉料，采用厚膜丝网印刷工艺技术制成的湿敏元件和传感器的各项湿敏性能，探讨了有关工艺参数带对元件性能的影响。通过中国建筑科学研究院空气调节研究所近２年的系统测试，首次给出了高温（１５０℃）下的湿度－电阻特性曲线。