高电阻率硅衬底上的微加工天线

摘要

该文将讨论利用一个新的微加工方法在高电阻率硅衬底上的微带天线的辐射边缘或槽环天线的槽边缘制作沟渠及导体悬挂效应以及这些沟渠对天线性能的影响。该文发现从硅片的背面制作的这些沟渠及导体悬挂效应能有效地减少基片的有效的电介质常数，改进天线辐射方向性图并增加辐射效率。