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闵靖; 李积和;
中国电子学会;
多晶硅膜; 电镜;
机译:氢等离子体处理的多晶硅中扩展缺陷处氢缺陷形成的透射电镜研究
机译:多晶硅膜的整体弹性:对多晶硅形态学影响的统计研究
机译:纳米压痕和扫描电镜技术研究膜沉积温度和底衬对铝膜硬度和晶粒尺寸的影响
机译:对二氧化硅膜的热化学气相沉积(CVD)和多晶硅膜的高密度等离子体CVD过程中颗粒形成和传输的研究。
机译:通过片上测试对多晶硅膜的力学和几何特性进行统计研究
机译:恶性黑色素瘤与脉络膜痣患者的电镜测量对比研究脉络膜恶性黑色素瘤与脉络膜痣的比较研究
机译:具有非线性光学校正的预成型膜镜和静电镜的研究
机译:形成多晶硅膜的形成方法,基板形成装置以及多晶硅膜的多晶硅膜。
机译:增强金属硅化物膜对多晶硅膜的蚀刻选择性的方法以及蚀刻金属硅化物膜和多晶硅膜的叠层膜的方法
机译:增强金属硅化物膜/多晶硅膜的蚀刻选择性的方法以及用于蚀刻金属硅化物膜和多晶硅膜的堆叠膜的方法
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