含氟体系金刚石簿膜生长的热力学研究

摘要

根据非平衡热力学耦合模型计算了碳氢氟体系低压金刚石生长的非平衡定态相图，与大量实验事实比较相符合。通过相图讨论了系统压力对低压金刚石薄膜生长条件的影响，可以为实验研究提供理论指导。还讨论了氟原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。