射频溅射沉积掺稀土元素CdTe薄膜的光电性能研究

摘要

用射频溅射方法制备ＣｄＴｅ薄膜及掺杂某些稀土元素的ＣｄＴｅ薄膜，利用ＸＲＤ，紫外－可见分光光度计和霍尔系数测量研究了基片温度及稀土元素掺杂对薄膜结构和光电性能的影响。