掺铝ZnO透明导电薄膜的制备及光电性能研究

摘要

采用RF磁控溅射法制备了掺铝ZnO(AZO)透明导电薄膜,用X射线衍射仪、分光光度计和四探针仪等,研究了沉积温度对薄膜晶体结构和光电性能的影响.结果表明,AZO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)择优取向.沉积温度对薄膜的择优取向程度、晶粒尺寸,透射率和导电性能等具有明显的影响.当沉积温度为400℃时,AZO薄膜最大晶粒尺寸为37.21 nm、可见光范围平均透射率为85.5%、优良指数为1.30×10-2Ω-1.