一种飞秒激光提高掺铝氧化锌薄膜光电性能的方法

摘要

本发明提供一种基于电子动态调控的飞秒激光提高掺铝氧化锌薄膜光电性能的方法，属于功能材料技术领域，该方法基于飞秒激光微纳加工系统，包括以下步骤：将掺铝氧化锌沉积的基底样品清洗处理后放置在飞秒激光微加工光路中，飞秒激光器产生的飞秒激光经过物镜聚集到氧化铝材料上，通过调节飞秒激光的能量、重复频率以及基底样品位移速度等参数控制在样品表面的加工形貌。对比现有技术，本发明提供的方法可修复掺铝氧化锌表面缺陷，降低材料的方阻，提高其导电性能；同时样品表面所产生的加工形貌可降低表面的反射率，在太阳能电池应用中增强光的吸收，提高光电效率。