离子事刻蚀法制作多台衍射光海陆空元件研究

摘要

该文分析了离子束刻蚀法用于多台阶衍射光学零件(DOE)制作中与刻蚀速率有关的影响因素及工艺参数的选取，并提出了一种有效的定标方法，该方法在实际制作16台衍射光学元件过程中证明，是一种行之有效的方法。