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单玉生; 王淦昌;
中国物理学会;
KrF激光; 脉冲功率技术; 激光驱动器; 惯性约束聚变;
机译:高重复KRF准分子激光光源应用于尼尔
机译:KRF和ARF准分子激光直接写作诱导聚氯乙烯的表面形态学和电化学改性研究
机译:使用窄带和宽带KRF准分子激光激光诱导臭氧的激光诱导的荧光
机译:使用KRF准分子激光器与燃烧火焰组合使用KRF准分子激光器在WC-Co底板上的合成
机译:启用脉冲功率技术以产生强烈的纳秒级电场。
机译:用KrF准分子激光辐照在掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜上制备周期性表面结构
机译:248 nm KRF准分子激光器CAF2光学窗口纳秒激光诱导的表面损坏及其机理
机译:用于KrF准分子激光系统的硅基电子束透射窗的开发
机译:适于作为酸产生剂的盐,适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻,EUV,乳化光刻和电子束光刻的光致抗蚀剂组合物,以及光致抗蚀剂的制造方法
机译:盐酸盐作为光生酸剂和光阻组合物,其组成适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻和ARF浸没光刻
机译:ArF准分子激光装置,KrF准分子激光装置和氟激光装置
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