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电子注分析系统

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简要说明了电子注分析系统在超高频真空器件的设计、研究中的重要性，关着重介绍了该系统的构成、指标等。

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来源
《第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会》|1999年|55-61|共7页
会议地点长沙
作者
王理明; 张福安;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子束器件、X射线管、阴极射线管;
关键词
电子注; 检测; 数据采集; 工件台; 收集极;
入库时间 2022-08-17 10:31:35

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