用ＣＨ〈，４〉＋ＣＯ〈，２〉气体ＣＶＤ金刚石的非平衡定态相图计算

摘要

用非平稀热力学耦合模型首次获得了由ＣＨ〈，４〉＋ＣＯ〈，２〉气体化学气相淀积金刚石的相图，该相图与用经典平稀势力学得到的结果不同，相图中出一了一个金刚石的生长区，相图中的金刚石生长区是实现金刚石气相生长的热力学基础，它的存在体现了超平衡氢原子等激活粒子对石墨的激活和对金刚石的稳定作用。金刚石生长区从理 论上预言了金刚石生长合适的温度及气体组成条件，体系压力对金刚石生长区影响不大，压力减小有利于降低金刚石生长的衬底温度。