钛薄膜的氢化及热释放特性的研究

摘要

在Ｔｉ膜上溅射Ｎｉ作为表面催化剂兼保护层，与无Ｎｉ的样品对照，研究了Ｔｉ薄膜的氢化与热释氮特性。结果表明，镀Ｎｉ能有效抗有害杂质Ｃ和Ｏ的污染，显著提高Ｔｉ膜的氢化与热释氢速率。用ＲＢＳ、ＨＥＢＳ和ＥＲＤ等技术分析研究了Ｎｉ对Ｔｉ膜的吸放氢特性影响的机理。