离子注入对人造金刚石的金属化性能的影响

摘要

叙述了在多功能工业离子注入机上采用20-60keV金属钛离子及氮离子注入人造金刚石晶体的实验研究。XPS分析表明，注入离子在人造金刚石颗粒表面形成了一层较为稳定的表 层结构。离子注入使其高温石墨化性能显著改善。金刚石烧结体的磨耗比和万能材料试验机上的抗压实验表明，磨耗比、抗压强度、抗拉强度显著提高。SEM分析发现金属离子的注入 使金刚石表面金属化，与胎体的结构加强，而氮离子注入则没有显著变化。