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非硅衬底上转换效率10﹪的硅薄膜太阳电池

摘要

在SiO<,2>衬底上,利用快速热化学汽相沉积(RTCVD)及区熔再结晶(ZMR)方法,制备了多晶硅薄膜太阳电池,转换效率达到10.2﹪.

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