硅压阻式压力传感器的研制及性能测试

摘要

微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器,进一步研制小体积高精度的传感器扩大应用范围已是事在必行.本文主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果.