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PSD发展进程和应用研究

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本文简述PSD从理论模型的提出到传感器研究历程,分析PSD结构及其工作原理,介绍了国内外PSD发展现状及其应用研究、PSD精度标定设备,讨论影响PSD位置测量精度的因素及其国内外PSD产品特点和存在的问题.

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来源
《中国兵工学会第10届测试技术研讨会》|2000年|139-143|共5页
会议地点合肥
作者
吕爱民; 段俊斌; 袁红星; 贺安之;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
测试条件; 标定系统; 半导体位置敏感探测器; 传感器; 光电效应; 位置测量;
入库时间 2022-08-17 10:25:53

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