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对氦质谱检漏漏率测定的一些看法

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氦质谱检漏仪借助已知漏率的比对漏孔,可以对被检工作给出漏率值,但使用不当会对检漏结果(被检工件的漏率)造成较大误差1,本文对比对漏孔的使用方法提出了一些注意事项,及对检漏仪的相关改进建议.

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来源
《中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会》|2001年|16-18|共3页
会议地点无锡
作者
吴孝俭; 杨智涵; 李明蓬;
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作者单位

中国计量测试学会;

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TB774.3;
关键词
氦质谱检漏仪; 比对漏孔; 漏率计量;
入库时间 2022-08-17 10:24:00

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