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氦质谱正压检漏的定量性检测

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本文讨论了运用气罩积累法可解决氦质谱正压检漏中的定量性检测.针对生产中常见的被检件总结了几种检测方法.

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来源
《中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会》|2001年|63-66|共4页
会议地点无锡
作者
杨智涵;
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作者单位

中国计量测试学会;

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TB774.3;
关键词
氦质谱正压检漏; 定量性检测;
入库时间 2022-08-17 10:24:00

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