LIGA技术中微复制工艺的研究

摘要

LIGA技术包括同步辐射X光深层光刻、微电铸、微复制3个部分.它能够加工高深宽比的微结构,侧壁陡峭,表面平整.微复制可实现大规模高深宽比三维微结构加工,所用塑料价格低廉、品种繁多,在光学、医学都可有广泛使用.文章作者在HEX01/T-A真空模压系统下对多种高分子材料和不同的图形进行了多次微复制试验,获得了PC、PMMA、结晶POM、PS、PVC材料优化的模压参数,并在这些材料上获得了不同图形的高深宽比的微结构.