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MEMS开关动态特性研究

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针对我所研制的MEMS开关的开关特性进行测试和研究,采用不同频率,不同占空比的方波驱动信号,对该MEMS开关的频率特性进行研究,采用不同的负载测试MEMS开关的电流能力.上述测试表明:该MEMS开关的驱动电压小于50V,最高工作频率10kHz,上升时间20μs,下降时间10μs,最大开关电流大于12mA.开关寿命大于1亿次.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|176-178|共3页
会议地点重庆
作者
邹学锋; 胡小东; 吕苗; 赵正平;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM564.9;
关键词
MEMS; 开关; 开关特性测试; 驱动电压; 工作频率;

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