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一种用于微装配系统的压电微夹钳

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利用PbNi<,1/3>Nb<,2/3>-PbZrO<,3>-PbTiO<,3>三元系压电陶瓷设计制作了双悬臂梁结构的微夹持器,用于微装配系统的操作手.对压电陶瓷材料的性能和压电微夹持器的准静态位移进行了实验研究.结果表明:当应用200V的电压时,夹持器张开距离可达200μm,具备夹持微型器件的能力.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|350-352|共3页
会议地点重庆
作者
陈海(龙天); 曹长江; 张琛; 孟中岩;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类装架;压电陶瓷材料;
关键词
微夹钳; 压电悬臂梁; 微装配系统; 微机械电子系统; 压电材料;

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