首页> 中文会议>第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议 >催化剂颗粒分布密度对碳纳米管场发射特性的影响

催化剂颗粒分布密度对碳纳米管场发射特性的影响

摘要

在硅基底上利用低压化学气相沉积法生长出碳纳米管薄膜.基底上涂敷有一层氢氧化铁溶胶薄膜,氢氧化铁在氢气还原下成为纳米尺寸的催化剂Fe<,2>O<,3>颗粒簇,在适当的温度下通入乙炔气体,便生长出碳纳米管.不同的氢氧化铁溶胶浓度决定了不同尺寸的催化剂颗粒簇,从而决定了碳纳米管薄膜的生长密度.不同密度的碳纳米管薄膜具有不同的场发射特性.扫描电镜分析结果和场发射特性测试结果表明生长密度较低的碳纳米管薄膜具有更低的工作电压和更大的工作电流.

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