硅尖上纳米金刚石膜场发射性质的研究

摘要

本文采用热灯丝CVD法在硅尖上制备了纳米金刚石膜,并研究了硅尖上纳米金刚石膜的场发射性质.实验结果表明,硅尖上纳米金刚石膜的场发射特性与硅平观上生长的多晶金刚石膜比较,有了极大的提高.硅尖上纳米金刚石膜场发射开启电场最小为2.7V/μm,而多晶金刚石膜为4.5V/μm.利用电子隧穿模型对实验结果进行了理论分析,研究表明实验结果与理论分析相符合.