薄型光学元件的数控抛光技术研究

摘要

在高功率固体激光装置要求的所有平面透射光学元件中,熔石英材料的屏蔽片是光学冷加工难度最高的元件之一,加工要求为单次透射波前畸变1/6λ(λ=632.8nm).其外形尺寸径厚比大于30:1,远远超出普通光学元件径厚比小于10:1的要求.由于径厚比大,所以光学元件在加工和测量的过程中很容易受到重力、装夹力等的影响而变形,影响加工和检测的精度.本文介绍了采用新兴的数控加工技术有效地避免了加工过程中各种装夹力、重力对面型的影响,通过优化参数,加工效率也得到有效提高.