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窄脉冲保形全方位离子注入进展

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本文叙述了窄脉冲保形全方位离子注入发展过程,评述了近几年来PⅢ过程鞘层动力学计算机数值模拟研究,强流脉冲阴极弧金属等离子体源,大功率固体电路脉冲调制器高压电源,及窄脉冲保形全方位离子注入工业机研制方面的重大进展.

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来源
《全国特种连接技术交流会》|2002年|32-37|共6页
会议地点哈尔滨
作者
汤宝寅; 王浪平;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空镀与气相镀法;计算机仿真;
关键词
等离子体浸没离子注入; 全方位离子注入; 鞘层动力学计算机模拟; 阴极弧金属等离子体源; 金属表面改性;

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