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偏振光调制方法测试薄膜的光学性质和介电性质

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用光学方法研究半导体材料的物理性质,有其非常突出的优点.本文研究用偏振光调制方法测试半导体薄膜的光学性质和介电性能.

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来源
《第八届全国固体薄膜学术会议》|2002年|56-57|共2页
会议地点长春
作者
刘还平; 于红燕; 孙春鹏; 王凤平;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;TN304.07;
关键词
半导体薄膜; 光学性质; 介电性能; 偏振光调制方法;

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