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等离子色散效应在硅导波光学中的应用

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摘要

硅的等离子色散效应反映了硅的折射率及吸收系数随硅中自由载流子(包括自由电子和自由空穴)浓度的变化.本文介绍了硅的等离子色散效应在硅导波光学中的应用.利用硅的等离子色散效应,可以制作重掺杂硅光波导、硅基电光调制器及电光开关.同时,硅的等离子色散效应在实际应用中也存在着一定的局限性.

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来源
《第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议》|2002年|538-541|共4页
会议地点厦门
作者
严清峰; 余金中;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;TN304.01;
关键词
硅; 等离子色散效应; 导波光学; 电光调制器; 电光开关; 半导体材料;

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