机械性质微探针-测试硬质膜硬度与弹性模量的新方法

摘要

本文介绍一种被称为材料机械性质微探针的新型的纳米微压痕仪,藉助于加荷-卸荷过程中压痕对负荷和压入深度,即压头位移的敏感关系,测试材料的硬度及弹性模量等力学性质.纳米和纳牛顿量级的压头位移与作用力,使得测试始终在大多数材料,特别是薄膜材料的弹性限度内,克服了维氏法、努氏法等传统方法引起压痕边缘模糊或者碎裂的缺点,保证了测试的正确性、可靠性和重复性.使用纳米微压痕仪成功地对氮化钛和类金刚石硬质薄膜的硬度及弹性模量进行了测试和分析。