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低压ZnO压敏薄膜制备与研究

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以GDARE法沉积的低压ZnO压敏薄膜为多孔性超微粒结构,沿c轴高度取向.经一定温度热处理后,薄膜具有较好的非线性V-I特性,漏电流小,压敏电压低.温度对薄膜的V-I特性影响较大.文章讨论了ZnO低压压敏薄膜的导电机理.

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来源
《中国真空学会薄膜技术学术研讨会》|2003年|68-70|共3页
会议地点宁波
作者
陆慧; 滕月莉; 殷海波; 陆元成; 潘孝仁;
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作者单位

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类高分子化学（高聚物）;
关键词
ZnO低压压敏薄膜; 结构; 非线性系数; 压敏电压; 直流沉积法;
入库时间 2022-08-17 11:10:45

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