强电离放电及其应用研究的进展

摘要

扼要介绍高气压电场电离气体研究现状及等离子体化学研究进展,着重研讨当前等离子体工程存在问题,以便解决向高密集的反应气体传递化学反应需要的高能量(>12 eV).为此提出了强电场电离气体方法,采用特种工艺加工电介质薄层,在介质阻挡放电的间隙形成了强电离放电,气体电离电场强度大于100kV/cm以上,电子具有平均能量大于10eV,占空比大于0.5﹪.它成功地解决了等离子体工程中现存的问题,实现了在分子层次上按预先设计物质模型加工新物质、新材料.文中介绍了高气压强电离放电在等离子体工程的成功应用事例.