一种基于空气放电的化学电离-真空紫外单光子电离复合电离源装置

摘要

本发明涉及一种基于空气放电的化学电离‑真空紫外单光子电离复合电离源装置，包括真空紫外灯、放电电极和电离室腔体其他电极。紧靠真空紫外灯的下方设有一对放电电极，真空紫外灯上施加一定直流电压，在真空紫外灯与放电电极之间引发产生放电。电离室腔体内，于放电电极下方平行、间隔设置有若干离子引出电极和差分孔电极，沿电极的轴线方向开有通孔，电极上依次施加有直流电压，电极间通过阻值相同的精密电阻相连。在放电电极与相邻离子引出电极之间的电离室腔体壁上设有进样毛细管，另设有真空泵抽气口和真空规接口。在真空紫外灯上施加一定直流电压，将真空紫外灯点亮，该装置体积小巧，功耗低，结构简单，便于集成。