微光栅表面氧化层在线监测的光谱椭偏法

摘要

光栅是一种应用广泛的光学元件.在实际加工和保存过程中,由于不能完全隔绝空气,再加上温度、湿度等原因,金属光栅会产生一定程度的表面氧化,从而影响光栅的光学特性.本文以铝制光栅为例通过严格耦合波分析方法分析确定了氧化层厚度与镜反射方向光谱椭偏特性的变化关系.结果表明,镜反射方向光谱椭偏特性的变化与氧化层厚度、氧化层位置和入射波波长等因素有关.利用光谱椭偏法在线监测光栅氧化层厚度的方法具有非破坏性、灵敏度高等优势.