公开/公告号CN201000428Y
专利类型
公开/公告日2008-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院力学研究所;
申请/专利号CN200720103324.3
申请日2007-01-24
分类号
代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司;
代理人高存秀
地址 100080 北京市海淀区北四环西路15号
入库时间 2022-08-21 22:56:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-03-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N21/21 授权公告日:20080102 终止日期:20110124 申请日:20070124
专利权的终止
2008-01-02
授权
授权
机译: 光谱椭偏仪的焦距调整方法,膜厚测量装置和光谱椭偏仪
机译: 光谱椭偏仪,膜厚测量装置以及在该光谱椭偏仪中聚焦的方法
机译: 光谱式椭偏仪,膜厚测量装置以及在光谱式椭偏仪中的聚焦方法