高分辨透射电镜观察Zn注入GaN样品的辐照损伤

摘要

在室温下,140keV Zn分别沿GaN的<0001>沟道方向和随机方向注入,注入剂量分别为1×10<'16>cm<'2>和3×10<'16>cm<'2>.高分辨透射电镜的观察结果表明,在3×10<'16>cm<'2>注入剂量下,GaN的表面有纳米范围的碎晶和非晶和混合层形成,而在1×10<'16>cm<'2>沟道注入情况下,表面只有小角晶界出现.表面层以下则是含有大量缺陷的晶体层,并且聚焦点缺陷、线缺陷和位错环的浓度随深度的增加而减少.