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ZnO压敏薄膜的晶相特征及其对电性能的影响

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摘要

ZnO是一种重要的半导体材料.本文对ZnO薄膜对次晶相及其变化特征进行了研究.利用新型sol-gel法在镀有Au底电极的单晶硅片上制备了多元素掺杂的ZnO薄膜.并对次晶相在掺杂元素再分布中所起的作用及其对电性能的影响特征进行探讨.

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来源
《中国电子学会敏感技术分会电压敏专业第十届学术年会》|2003年|95-101|共7页
会议地点海口
作者
黄焱球; 刘梅冬; 曾亦可; 李楚容; 许毓春;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类敏感器件;晶粒间界;
关键词
掺杂ZnO薄膜; 低压压敏电阻; 新型sol-gel法; 晶相特征;
入库时间 2022-08-17 11:08:00

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