首页> 中文会议>第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会 >关于多晶硅生产工艺中SiHCl<,3>精馏塔冷凝器面积的计算

关于多晶硅生产工艺中SiHCl<,3>精馏塔冷凝器面积的计算

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

在多晶硅生产工艺中SiHCl<,3>的精馏提纯是很重要的工艺环节,它关系到最终多晶硅产品的质量,而精馏中设计出合理的冷凝器是保证精馏塔正常工作的重要一环.本文作者结合长期在多晶硅生产中的体会和经验,通过某一个具体的冷凝器设计来叙述这一问题.

著录项

来源
《第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会》|2003年|122-126|共5页
会议地点深圳
作者
张惠国; 蒲晓东; 王岭;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;
关键词
多晶硅; 生产工艺; 精馏塔; SiHCl,3; 精馏提纯;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 具有中间再沸器和中间冷凝器的二元精馏塔操作线斜率分析和理论板数计算 [J] . 邓春 ,陆炫彤 . 山东化工 . 2020,第007期
2. 多晶硅精馏塔系统中安全阀泄放量的计算 [J] . 张璐璐 ,李汉 ,王波 . 化学工程 . 2011,第001期
3. SiHCl3-H2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型 [J] . 侯彦青 ,聂陟枫 ,谢刚 . 中南大学学报（自然科学版） . 2016,第011期
4. 多晶硅生产过程中SiHCl3分析准确性探讨 [J] . 王桃霞 ,张佳伟 ,刘晓霞 . 山东化工 . 2016,第003期
5. SiHCl3流化床制备粒状多晶硅研究进展 [J] . 杨恺 ,赵颖 . 当代化工 . 2015,第002期
6. SiHCl3冷凝器的腐蚀与防护 [C] . LI Xiao-hong ,李晓红 ,Wang Bing-lin . 第九届全国压力容器设计学术会议暨第八届压力容器分会设计委员会会议 . 2014
7. 电能在线监测系统在多晶硅生产工艺中的应用研究 [A] . 冯雷 . 2020

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号