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多晶硅生产过程中SiHCl3分析准确性探讨

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摘要

SiHCl3中杂质的含量直接影响多晶硅的品质,其杂质含量一般在×10-9级别,同时样品挥发性极强,因此分析的准确性受到极大的挑战.本文从各方面阐述了准确性的影响因素,并提出相应的措施,确保过程分析的指导意义.

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来源
《山东化工》 |2016年第3期|69-70|共2页
作者
王桃霞; 张佳伟; 刘晓霞; 王玉梅;
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作者单位

江苏中能硅业科技发展有限公司质量检测中心,江苏徐州 221004;

江苏中能硅业科技发展有限公司氯氢化二分厂,江苏徐州221004;

江苏中能硅业科技发展有限公司质量检测中心,江苏徐州 221004;

空军勤务学院,江苏徐州221000;

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正文语种 chi
中图分类硅及其无机化合物;
关键词
多晶硅; SiHCl3; 分析准确性;

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