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罗丽萍; 李传波; 赵雷; 时文华; 成步文; 王启明;
中国电子学会;
掩膜层; 腐蚀液; 腐蚀机理;
机译:氢氟酸腐蚀剂-硅系统的各向异性对电化学腐蚀硅时形成的孔的形状的影响
机译:厚大孔硅膜:掩膜层对蚀刻性能的影响
机译:基于原子力显微镜的金刚石尖端悬臂摩擦纳米光刻在(100)硅上形成掩膜层的特性
机译:在N_2O炉氧化中的原子突出氧化硅/ Si(100)界面上方的硅纤维膜层上
机译:硅(100)的氢钝化用作低温外延和氧化的模板。
机译:硅的低温腐蚀:垂直微悬臂梁母模的另一种方法进行制造
机译:使用干膜光致抗蚀剂,硅在硅中的深槽或孔穿过深沟或孔的平坦化和制造。
机译:118-H-6:2,105-H反应堆辅助支撑区域,低于等级结构和下层土壤的清理验证包; 118-H-6:3,105-H反应堆燃料储存盆和下层土壤; 118-H-6:3燃料储存盆地深区边坡土壤; 100-H-9,100-H-10和100-H-13法国排水沟; 100-H-11和100-H-12扩展盒法国排水管;和100-H-14和100-H-31表面污染区
机译:硅锗合金循环沉积与腐蚀的低温选择性腐蚀。
机译:深孔钻孔设备和深孔加工方法,深孔评估设备和深孔评估方法以及位置偏差评估方法,深孔钻孔设备的光轴调整装置和深孔评估装置,光轴调整方法
机译:Si100 / Si111硅蚀刻剂组合物表现出低Si100 / Si111选择性和低碳化硅蚀刻速率
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