首页> 中文会议>上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会 >氧氮共注入提高SIMOX材料抗辐射性能研究

氧氮共注入提高SIMOX材料抗辐射性能研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文采用不同的注N剂量、不同的工艺制备了氧氮共注形成SOI(SIMON)材料.采用二次离子质谱(SIMS)分析了材料退火之后的离子分布,结果发现退火之后氮原子大多数聚集在SiO<,2>/Si界面处;为了分析材料的抗辐照加固效果,分别在SIMOX和不同方法制作的SIMON材料上制作了NMOS场效应晶体管,并测试了辐射前后的转移特性.

著录项

来源
《上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会》|2004年|1-4|共4页
会议地点上海
作者
张恩霞; 钱聪; 张正选; 王曦; 张国强; 李宁; 郑中山; 刘忠立;
展开▼
作者单位

中国有色金属学会;

中国金属学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类掺杂;
关键词
氧氮共注; 离子注入; 辐照加固; 半导体器件;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Si离子注入对SIMOX SOI材料抗总剂量辐照性能的影响(英文) [J] . 杨慧 ,张恩霞 ,张正选 . 半导体学报：英文版 . 2007,第3期
2. 利用硅离子注入提高SOI材料的抗辐射性能 [J] . 俞文杰 ,张正选 ,贺威 . 功能材料 . 2007,第A02期
3. 提高铀抗氢化性能的碳氧离子组合注入 [J] . 王小英 ,任大鹏 ,郭文胜 . 原子能科学技术 . 2003,第0z1期
4. 氮、氧及金属离子注入铝合金表面改性层摩擦磨损性能研究 [J] . 汤宝寅 ,张更伟 ,王小峰 . 摩擦学学报 . 2003,第4期
5. 氮等离子体浸没注入处理316不锈钢的抗点蚀性能研究 [J] . 顾小宝 ,吴晓京 ,邓博 . 复旦学报：自然科学版 . 2009,第4期
6. 埋氧注氮对SIMOX SOI材料埋氧中辐射感生正电荷密度的影响 [C] . 郑中山 ,刘忠立 ,于芳 . 第十一届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会 . 2011
7. 硼氧离子共注入金刚石薄膜的微结构特性和电学性能研究 [A] . 潘金平 . 2010

氧氮共注入提高SIMOX材料抗辐射性能研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅