界面态对HEMT器件的影响

摘要

本文通过对相同界面态对三种纵向结构的HEMT器件可靠性的影响和不同界面态对同一器件直流跨导影响的仿真,比较常规型(HEMT)、赝型(PHEMT),双异质结型(DHEMT)的可靠性,并且针对可靠性最好的PHEMT给出直流跨导随界面态密度的衰变曲线.

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