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公开/公告号CN110620042B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-30
原文格式PDF
申请/专利权人 南京大学;
申请/专利号CN201910908310.6
发明设计人 郭慧;陈敦军;刘斌;王科;谢自力;张荣;郑有炓;
申请日2019-09-25
分类号H01L21/335(20060101);H01L29/06(20060101);H01L29/778(20060101);
代理机构32332 江苏斐多律师事务所;
代理人张佳妮
地址 210093 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
入库时间 2022-08-23 11:19:47
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