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多晶硅薄膜的制备参数对其结晶状况的影响

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摘要

我们使用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)的方法在玻璃衬底上制备了用于太阳能电池的多晶硅薄膜.通过对其Raman谱的分析得出不同沉积条件下薄膜的结晶状况,并对其结果进行了一系列的讨论分析.

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来源
《2004年中国生物质能技术与可持续发展研讨会》|2004年|382-385|共4页
会议地点郑州
作者
李瑞; 陈永生; 杨仕娥; 靳锐敏; 王海燕; 张宇翔; 卢景宵;
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作者单位

中国太阳能学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类太阳能电池;
关键词
多晶硅薄膜; 等离子增强; 化学气相沉积; 氢稀释比; 衬底温度; 射频功率; 太阳能电池;

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