首页> 中文会议>河南省第四届青年学术年会 >α-Si:H薄膜固相晶化及结晶度的研究

α-Si:H薄膜固相晶化及结晶度的研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

优质的多晶硅薄膜是制备出高效多晶硅薄膜太阳电池的前提条件.该论文用传统的固相晶化法制备多晶硅薄膜.利用Raman光谱对其结构进行分析.研究了多晶硅薄膜的结晶度随退火温度、退火时间和升、降温速率的变化.

著录项

来源
《河南省第四届青年学术年会》|2004年|325-328|共4页
会议地点郑州
作者
冯团辉;
展开▼
作者单位

河南省科学技术协会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
多晶硅薄膜; 固相晶化; 结晶度; 太阳电池;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. a-Si∶H 薄膜固相晶化法制备多晶硅薄膜 [J] . 陈城钊 ,方健文 ,林璇英 . 浙江师范大学学报（自然科学版） . 2002,第003期
2. a—Si：H薄膜固相晶化法制备大晶粒多晶硅薄膜 [J] . 吴萍 ,姚若河 . 汕头大学学报：自然科学版 . 1999,第001期
3. Ge覆盖层诱导晶化多晶Si薄膜的晶化特性研究 [J] . 邓书康 ,董国俊 ,杨晓坤 . 人工晶体学报 . 2015,第2期
4. 氢等离子体辅助固相晶化多晶硅薄膜的初步研究 [J] . 刘政鹏 ,李娟 ,刘宁 . 功能材料 . 2014,第019期
5. AIT玻璃衬底非晶硅薄膜的固相晶化研究 [J] . 郑文 ,陈永生 ,卢景霄 . 人工晶体学报 . 2011,第6期
6. 沉积a-Si:H薄膜衬底温度对固相晶化影响的研究 [C] . 姚若河 ,林璇英 ,吴萍 . 第二届全国金属功能材料第九届全国非晶态材料和物理第三届全国稀土永磁材料联合学术研讨会 . 2001
7. 多孔硅上固相晶化制备晶硅薄膜的初步研究 [A] . 李红菊 . 2007

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号