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微加速度计

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本文论述了微机械系统(MEMS)的发展,介绍了电容式微加速度计和压阻式微加速度计的结构,分析了它们的工作原理,以及制作工艺.

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来源
《中国自动化学会、中国仪器仪表学会2004年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会》|2004年|561-564|共4页
会议地点成都
作者
胡莉; 李茜;
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作者单位

中国自动化学会;

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
微加速度计; 电容; 单晶硅; 微机械系统; 制作工艺;
入库时间 2022-08-17 10:59:17

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