Design and optimization of differential capacitive micro accelerometer for vibration measurement

机译：基于曲面微机械的全差压电容性MEMS加速度计的设计与优化

机译：微重力电容式HARPSS加速度计的设计优化与实现

机译：硅微电容加速度计的PWN技术优化设计

机译：前端接口，用于测量MEMS电容式加速度计中的微分电容

机译：微机械电容式加速度计的设计与制造。

机译：用于重力测量的微机电系统加速度计的新型电容传感系统设计

机译：用于重力测量应用的微机电系统加速度计的新型电容式传感系统设计

机译：具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪和控制方法以及用于制备具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪的过程

机译：具有自然频率宽度测量范围的传感器元件。加速度传感器的电容式传感器元件;固有频率响应的电容式传感器元件的制造和工艺

机译：微加工电容式横向加速度计装置和具有该装置的整体式三轴加速度计